就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
对待每一
做到极致认真
每一个零件
细
致
致
每一组数据
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智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
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洁净烘箱，百级无尘烘箱
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氮气烘箱，精密充氮烘箱
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LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
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热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
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HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
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智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的？
来源:
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作者:隽思环境半导体设备部
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发布时间: 2023-11-09
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HMDS烘箱是将晶圆表面暴露于蒸汽态的HMDS的方式气相涂胶。气相HMDS主要是用来增黏的作用。
HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一种有机物，在水中的溶解性很低，但它可与多种有机溶剂混溶，比如醇、醚和多数非极性溶剂。溶剂清洗：可以使用有机溶剂溶剂（如异丙醇）来清洗晶圆，以去除多余的HMDS。
HMDS烘箱的作用
HMDS烘箱也称为HMDS预处理系统，HMDS蒸镀机等，是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度，在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合，使这样的衬底表面具有疏水性。
HMDS烘箱性能
温度范围：RT+10-250℃
真空度：≤1torr
控制仪表：彩色触摸屏控制，操作更加简单，方便
HMDS工艺：蒸汽气相涂布
安全检测：超温保护，HMDS泄漏检测提示
储液瓶：HMDS储液瓶
真空泵：无油涡旋真空泵
工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制
