就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
对待每一
做到极致认真
每一个零件
细
致
致
每一组数据
-
智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
-
洁净烘箱，百级无尘烘箱
-
氮气烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
-
热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
-
HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
-
智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
-
真空无氧固化炉，高温无氧烘箱
-
精密烤胶台，高精度烘胶机
-
超低温试验箱，零下-120度高低温箱
最新消息
热搜：HMDS烘箱 无尘烤箱 无氧烤箱
新 闻 动 态
NEWS
真空和非真空的高温无氧烘箱（520）
来源:
|
作者:隽思半导体设备部
|
发布时间: 2022-05-20
|
962 次浏览
|
分享到:
高温无氧烘箱技术参数 ：
工作室尺寸：W800mm×800mm×H800mm
材质：内箱采用优质耐高温SUS304不锈钢，外箱采用优质冷轧板喷塑，
温度范围：RT+50-450℃
温度分辨率：0.1℃
温度波动度：≤±1℃
温度均匀度：≤1.5%℃
洁净度：使用环境同等级，可选百级(class100)无尘
升温速度:0-10℃/min
降温方式:自然降温或辅助降温（降温速率约4℃/min）
氧含量：≤20ppm
彩色触摸屏操作，可程式/定值运行
样品架：2-4层不锈钢冲孔样品架
高温无氧烘箱用途：
用于精密电子元件、银胶固化、PI/BCB/BPO胶高温固化烘烤、光刻胶固化、晶圆退火电子陶瓷材料防氧化烘干、测试的特殊工艺要求。
高温真空无氧烘箱
高温真空无氧烘箱技术参数
温度范围： RT ～300/450℃；可定制
温度波动度：≤±1℃，
升温速度：0-10℃/min；
降温方式：自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制： 可调试流量计控制
氧含量检测：20～1000ppm
工作尺寸： W350×H350×D350,
W450×H450×D450，
W600×H600×D600可定制
高温真空无氧烘箱结构：
箱体材料：外箱采用优质冷轧板烤漆；
内室材料：采用316L医用级不锈钢；
保温材料：超细陶瓷纤维；
排 气 口：有
真空泵：涡旋干泵
