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无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱
    发布时间: 2025-03-27 13:33    

  无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱应用于半导体晶片、半导体封装和MEMS器件的批量生产。主要用于PI/CPI固化,BCB固化,PBO固化,LCP纤维热处理。

无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱的基本原理

下面我们将分步骤来介绍固化炉的工作原理 :

第一:高温功能的实现为炉腔加热, 固化炉的加热系统通常由几个加热器和温度控制器组成。首先,加热器发出热量将气体热量在烘箱内循环,使炉腔内的温度逐步升高。然后,由温度控制器来控制加热输出量的大小,控制箱内温度的高低;

第二:低氧浓度的实现为气体置换,固化炉箱内是一个密闭的空间,在进气口使用N2等惰性气体充入箱内,气体经过箱内循环后将空气和混合气体通过排气口排出(真空无氧烘箱可先抽真空后再充入氮气,从而多次循环),达到降低箱内氧气浓度的目的。

第三:无氧固化炉,高温无氧固化炉结构: 

箱体结构: 内箱采用SUS304/316L不锈钢制作,以全周氩弧焊无缝处理; 外箱采用优质不锈钢或冷轧板静电喷塑处理; 外箱保温材质用高级超细陶瓷纤维保温,六面保温断热,达到降低机台表面温度的目的。

无氧固化炉,高温无氧化固化烤箱性能:

温度范围:RT-350/450/550度

真空度:低于100Pa

操作界面:彩色人机界面,一键运行

冷却方式:水冷却+风冷

气路:2-3路N2

程序模式:程序运行5-10个,每个程序可设置25步

氧含量:10ppm

工作腔:1/2/4/8可选

内腔容积:500*500*550mm、定制


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