就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
做到极致认真
致
每一组数据
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智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
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洁净烘箱，百级无尘烘箱
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氮气烘箱，精密充氮烘箱
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LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
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热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
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HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
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智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
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真空无氧固化炉，高温无氧烘箱
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精密烤胶台，高精度烘胶机
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超低温试验箱，零下-120度高低温箱
产 品 中 心
products
一、真空固化烤箱，防氧化真空系统用途
无氧真空系统用于键合前键合材料的真空处理 、ITO膜退火，PR胶排胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。
二、真空固化烤箱，防氧化真空系统技术性能参数
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1、设备名称： |
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名称 |
无氧真空系统 |
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2、设备型号： |
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型号 |
JS-GYZF系列 |
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3、设备主要技术参数： |
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3.1 工作室尺寸 |
450×450×450，600×600×600（mm） |
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3.2 材质 |
内箱采用316L医用级不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑 |
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3.3 温度范围 |
RT+10-300/450℃ |
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3.4 温度分辨率 |
0.1℃ |
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3.5 温度波动度 |
≤±1℃ |
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3.6 温度均匀度 |
≤2%MFS |
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3.7 升温速率 |
≤10℃/min |
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3.8 降温速率 |
特殊要求数据 |
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3.9 真空度 |
≤133pa或要求数据 |
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3.10 电源及总功率 |
AC220V、 380V±10% / 50HZ |
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3.11 温度控制仪表 |
可编程触摸屏仪表，可校准温度，PID自整定等功能 |
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3.12搁板层数 |
316L不锈钢托盘2层，配有限位装置 |
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3.13真空泵 |
油泵/干泵 |
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3.14 腔门密封圈 |
采用耐高温硅橡胶密封圈 |
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3.15 状态指示灯 |
配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态 |
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3.16 氧含量 |
特殊要求数据 |
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3.17 洁净度 |
Class100、1000级 |
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3.18 降温系统 |
选配 |
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3.19 氮气控制 |
工艺要求 |
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3.20 安全保护装置 |
安全的接地保护装置，超温保护及报警装置，漏电保护装置。 |
