就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
对待每一
做到极致认真
每一个零件
细
致
致
每一组数据
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智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
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洁净烘箱，百级无尘烘箱
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氮气烘箱，精密充氮烘箱
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精密无氧化烘箱剖析
来源:
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作者:隽思半导体设备部
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发布时间: 2018-05-12
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精密无氧烘箱的名称
无氧烘箱也称为无氧化烘烤（烤）箱、防氧化烘箱、厌氧烘（烤）箱，无尘无氧烘（烤）箱，高温固化烘箱等。主要是提供一种高温且氧含量很低的烘烤空间，防止产品在高温烘烤、固化等工艺时产生氧化。
精密无氧烘箱的原理：
无氧：采用惰性气体（常用氮气）置换腔内气体，达到氧浓度极低的环境；具有氧含量分析仪，全程检测氧含量值，实时显示
并 记录。
高温：电加热器提供高温的环境；
降温：水冷、风冷可单独采用一种或两种降温方式辅助降温，使得降温速率加快，提高生产效率，节约时间；
操作：无氧烘箱采用人机交互+PLC的控制方式，智能、快速、一键操作方式。
精密无氧烘箱的技术性能：
内部大小：常用 W500mm×500mm×H500mm ，多尺寸可选择、可定制
材料： 外部箱冷轧板喷塑，内箱国际SUS304不锈钢
温度指标： 100-400/500℃
温度精度： 0.1℃
波动度：≤±1℃
均匀度： ≤1.5%℃
洁净能力：可选class100，百级洁净度
低氧指标： 氧含量≤ 20ppm
数据记录： 氧含量记录，多点温度记录
智能操作： 人机界面+PLC，可程式/定制运行，大屏显示、一键操作
产品支架： 2层
