就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
对待每一
做到极致认真
每一个零件
细
致
致
每一组数据
-
智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
-
洁净烘箱，百级无尘烘箱
-
氮气烘箱，精密充氮烘箱
-
LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
-
热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
-
HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
-
智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
-
真空无氧固化炉，高温无氧烘箱
-
精密烤胶台，高精度烘胶机
-
超低温试验箱，零下-120度高低温箱
最新消息
热搜：HMDS烘箱 无尘烤箱 无氧烤箱
新 闻 动 态
NEWS
选择HMDS烘箱注意事项
来源:
|
作者:隽思半导体设备部
|
发布时间: 2020-04-13
|
1149 次浏览
|
分享到:
选择HMDS烘箱的容积
内腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均适用，4寸晶圆可处理200P/次；
HMDS烘箱真空泵的选择
根据腔体容积，选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。
◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧
◆ 具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件
◆ 低噪声，低振动
3.HMDS烘箱辅助功能选择：
◆HMDS药液泄漏报警提示功能
◆HMDS低液位报警提示功能
◆工艺数据记录功能
◆药液管道预热功能
◆程序锁定保护等功能
HMDS烘箱也称为智能型HMDS真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。
