就
是
对
待
工
作
的
态
度
，
个产品，
对待每一
做到极致认真
每一个零件
细
致
致
每一组数据
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智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
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洁净烘箱，百级无尘烘箱
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氮气烘箱，精密充氮烘箱
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LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
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热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
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HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
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智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
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真空无氧固化炉，高温无氧烘箱
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精密烤胶台，高精度烘胶机
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超低温试验箱，零下-120度高低温箱
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为什么HMDS烘箱处理后可以增粘
来源:上海隽思HMDS烘箱技术部
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作者:隽思半导体设备部
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发布时间: 2022-10-08
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HMDS烘箱也称为智能型HMDS真空系统，HMDS预处理系统等。半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面的氧化物的形式存在的二氧化硅以及大多数金属在暴露于大气中在一定的湿度下、足够长时间后在其表面形成极性OH键。这种衬底是亲水性的，因此对光刻胶的非极性或低极性树脂分子具有较差的亲和力。为了使这样的衬底表面具有疏水性，可以用化学方法将HMDS等非极性分子附着在其表面上，需要HMDS烘烤箱来处理。
HMDS烘箱处理的优势HMDS是蒸发镀膜，涂布厚度佳、均匀性好。旋涂式涂布厚度较厚，烘烤过程中有氨气释放，导致一些不利情况出现。
